陶瓷湿度 传感器 大多采用多孔状金属氧化物为材料。它有良好的物理化学稳定性和热稳定性。制作过程中通过控制合理的组织和结构，则可制成稳定性好、响应快、灵敏度高、湿滞小的高品质湿度传感器。陶瓷湿度传感器的产品有： 一、ZnO-Cr₂O₃系 湿度传感器 该温度传感器采用ZnO为主要基体的氧化物半导体材料，由于其功耗低，并且可以连续测湿，成本低，适宜批量生产。这种传感器制作过程一般采用掺入一定量的Li₂O和V₂O₅的ZnO材料，在800-900摄氏度下烧结成多孔陶瓷粉，然后压成直径8mm、厚度为0.2mm的薄片做湿敏元件。然后在元件两端，熔接Pt-Lr丝做成电极引线，固定在基座上，焊上引线，封装到塑料外壳中。该传感器有点在于抗振强、体积小、量程宽、抗污染性能好。 二、MgCr₂O₄-TiO₂系湿度传感器 该温度传感器是一种典型的多孔陶瓷湿度传感器，它具有灵敏度高、测湿范围宽、响应好、高温清洗后性能稳定等优点，都已实现商品化。它是以MgCr₂O₄为基本材料，加入一定比例的TiO_2，通常在1300摄氏度烧结制成。将MgCr₂O₄-TiO₂制成的陶瓷压成薄片，使其粒径为1-2微米，晶粒间孔径为0.05-0.3微米，然后在其两表面涂RuO₂电极，引线。 三、ZrO₂系厚膜型湿度传感器 该湿度传感器采用IC厚膜技术和电子陶瓷技术制成，不仅降低了成本，还大大提高了传感器的一致性，满足批量生产要求。这种湿度传感器感湿层是一种多孔的ZrO₂系厚膜材料，它可以用碱金属调节阻值大小并且提高它的长期稳定性。它的制作方法为：首先，制成一定粘度的ZrO2湿敏材料浆，然后在陶瓷衬底上，烧结成感湿厚膜，焊上引线，并进行碱金属化处理，装上防尘过滤膜，即完成制作。这种湿度传感器还具有良好的抗老化和污染性能。 本文章由传感器之家原创，转载请注明出处。

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