半导体设备大厂ASML在2012年第4季宣布购并光源供应商Cymer，主要考量是基于极紫外光(EUV)机台的主要瓶颈是卡在光源技术，目前主要的微影光源供应商共有3家，包括美商Cymer、日商Gigaphoton、USHIO等。
ASML计划购并Cymer金额约19.5亿欧元，Cymer股东将获得每股20美元的现金、并以1:1.1502的换股比例，让Cymer股东持有ASML的股票，预计整起购并案将于2013年上半完成。

ASML预计首款量产型的极紫外光(EUV)机台NXE:3300B将会在2013年出货给客户，目标是预计2014年中的机台可达每小时70片晶圆目标。

包括ASML发起共同开发计划(Co-Investment Program)把台积电、英特尔(Intel)、三星电子(Samsung Electronics)三大客户拉进来投资外，以及购并光源供应商Cymer，目的都是加速18寸晶圆(450mm)世代来，以及让半导体客户能顺利以10奈米以下技术进行制程微缩。