1、采样点的平均粒子浓度

C1+C2+……Cn

A = —————————

N

式中：A：某一采样点的平均粒子浓度（粒/m3） C1：某一采样点的粒子浓度（粒/m3） C2：某一采样点的采样次数（次）.2、平均值的均值：

A1+A2+……AL

M = ——————————

L

式中：M：洁净区的平均粒子浓度,即平均值的均值；（粒/m3） L：某一洁净室内的总采样点数（个）.3、标准误差

式中：SE：平均值均值的标准误差,（粒/m3）

4、置信上限：UCL=M+t×SE

式中：UCL：平均值均值的95%置信上限（粒/m3）； t：95%置信上限的t 分布系数（见下表）；

95%置信上限的t 分布系数

采样点L 2 3 4 5 6 7 8 9 ≥9

T 6.31 2.92 2.35 2.13 2.02 1.94 1.90 1.86

注：当采样点多于9点时,不需要计算UCL