处理空气的办法
能源效率的需求也推动了空气处理器制造商寻求更多具能源效益的设计，Richard Spradling说。他是EI Systems──一家提供技术解决办法的公司的副总裁。他说：“能源的费用推动着发明创新。建筑师，工程师，以及业主需要更高效率的系统，而市场作出了回应。”
Spradling指出，具有高能源效率的风机系统已经做出了巨大的改进，用于高或低静压循环风机和高静压新风处理系统。例如，M&I Air Systems Engineering的Compac Space Fan System风机系统，在整个组件的出口和入口集成了噪音吸收和流量控制元件，回收了轴流风机环形速度压力中80％的静压，减少高达50%的能耗。“也就是说节省了大量成本。”Spradling说，一个海外客户如果采用18个这种风机系统，在支付0.20元/千瓦时的情况下，每年可节约能源费用40万美元。
低成本FFU控制系统可用户定制，且易于安装，采用多风机阵列取代传统的单风机系统，日益受欢迎，尤其是在规模较小的设施中。多风机阵列，如Huntair的Fanwall，或M&I的Multipak系统，将空气处理机的空气输出负载分成几个较小的单元，以获得更高的可靠性和更好的运行效率。
Tim Loughran说，多风机系统提供了许多好处，例如它本身有备用风机。他是弗吉尼亚州Richmond的一家洁净室设计和建筑公司AdvanceTEC的管理合伙人。“采用单一的、较大的空气处理机组，如果它宕机了，洁净室也就会跟着处于停顿状态，直到你更换一个新的发动机为止。这将会耗去4小时到2周的时间。”他说，“但随着多风机系统的采用，如果有一个电动机不能工作，其他的可以补上去。”

对于多风机系统，更换电动机可以更快，也更容易，因为它们较小，可以就地储存；它们还能让经营者灵活地配置系统，适应各种状况。例如在不影响到风机效率的情况下，就可以对过滤器的洁净程度和气流速率进行调整。
在使用一台风机以较低负荷运行的情况下，即便是高效率的大型风机效率也会显着下降。而对于多风机系统，经营者可以关掉个别风机，以使剩余的风机仍能在最高效率下运转。
冷冻水系统增加热回收装置，减少用水量，循环利用，采用回收策略，并在大型发动机上使用变频驱动器，提高效率，所有的这一切都更有利于在新的和改造的设施上加强能源节约。

更快更好的解决办法
随着能源成本的降低，洁净室的经营者仍在设法寻找途径，让自己花更少的钱和更少的时间，他们希望比以往任何时候都更快地达到预期的效益。有些该行业内的设计师正由于不切实际的期望而面临越来越多的挫败。这些期望是那些希望自己的设施建设运营都能创记录的经营者摆到设计师们面前的。
“这些设施大多比以往的候都更为复杂，但仍然希望它们更快、更便宜。”create的Chasey说。他指出，随着需要对更多的设备和更复杂的加工步骤进行支持，设施的规模也在不断增加。引进新的生产材料，气体，化学品进入洁净室操作，所有这些都会带来额外的空气分子污染和浪费问题有待处理，使得这些洁净室更加的复杂。几何尺寸不断缩减，要求采用新的设备，还有所有相关的控制设计，这使得洁净室的设计和建造比以往任何时候都来得更加复杂。“洁净室业主希望这些设施在8-9个月内就被建好，他们觉得市场应该响应。”Chasey说，“这太荒谬了。”他希望看到晶圆厂的洁净室复杂性能严格遵循线性增长，而不是像它当前所呈现的那样，呈指数级增长。
模块化的洁净室可以给设计人员提供更快的建设时间，因为许多部分都能在工厂里预制，只需更少的组装时间。AdvanceTEC的Loughran说，“模块化的洁净室建造只需不到50％的时间，这极大的减少了现场的施工时间。”由于天花板可以移来移去，模块化的洁净室还可以给维修带来便利，电力系统和管线都可以内建到系统中，并在洁净室建好以后连接上。