美国VLSI Research公布了2009年半导体制造装置的市场规模及销售额排名。09年的市场规模比上年减少40％，这已是连续两年大幅下降。与最近的顶峰时期08年相比，09年的市场规模减少了一半。

　　销售额排名方面，在前五名的企业中，08年下滑至第三位的东京电子（TEL）恢复到了第二位，尼康也从08年的第六位上升到了第四位。日本企业近年来排名呈下滑趋势，但09年销售额跌幅较小，因此排名相对上升。

　　在排名第六位以后的企业中，08年排名第七的佳能没能上榜。而德国爱思强（Aixtron AG）却由07年的第27位在08年上升到了第18位，09年上升到了第13位，一举进入前15名。爱思强主要从事LED用CVD装置等业务，因近来LED行业一片红火，该公司是前15名企业中，唯一一家连续两年销售额增加的企业。就整体而言，09年的前15名企业中，排名上升的企业有8家，排名下滑的企业有4家，没有变动的企业有3家。