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新一代功率半导体氧化镓:提供外延晶圆

来源: 作者:华仔 浏览:152

标签:

摘要: 日本风险企业Novel Crystal Technology公司(总部:埼玉县狭山市)于2015年10月开始销售新一代功率半导体材料之一 氧化镓的外延晶圆( 型Ga2O3)。这款晶圆是日本信息通信研究机构(NICT)、日本东京农工大学和田村制作所等共同研究的成果。Novel Crystal Technology公司是从田村制作所分离出来的风险企业,定位于 NICT技术转移企业 。该公司的目标是20

日本风险企业Novel Crystal Technology公司(总部:埼玉县狭山市)于2015年10月开始销售新一代功率半导体材料之一 氧化镓的外延晶圆( 型Ga2O3)。这款晶圆是日本信息通信研究机构(NICT)、日本东京农工大学和田村制作所等共同研究的成果。Novel Crystal Technology公司是从田村制作所分离出来的风险企业,定位于 NICT技术转移企业 。该公司的目标是2016年度实现销售额6000万日元,2020年度实现销售额7亿日元,2025年度实现销售额80亿日元。

与作为新一代功率半导体材料推进开发的SiC(碳化硅)及GaN(氮化镓)相比,氧化镓可以低成本制造高耐压、低损耗的功率半导体元件(以下简称功率元件),因此颇受关注。

功率器件用的外延晶圆需要具备两个条件,一是外延层表面的平坦性,二是控制低载流子浓度区域的浓度。此次采用了使用臭氧的 臭氧MBE法 成膜法。优化了结晶面的方位、掺杂剂的种类、生长温度、原料供应量等生长参数。能够实现1nm以下的表面粗糙度,并可获得1016/cm3载流子浓度区域。现已确认利用此次的外延晶圆,可以制造肖特基二极管(SBD)和晶体管。

型号 厂商 价格
EPCOS 爱普科斯 /
STM32F103RCT6 ST ¥461.23
STM32F103C8T6 ST ¥84
STM32F103VET6 ST ¥426.57
STM32F103RET6 ST ¥780.82
STM8S003F3P6 ST ¥10.62
STM32F103VCT6 ST ¥275.84
STM32F103CBT6 ST ¥130.66
STM32F030C8T6 ST ¥18.11
N76E003AT20 NUVOTON ¥9.67
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