摘要： 　　利用Au催化辅助化学气相沉积生长技术，在n-Si(111)衬底上制备了准单晶的ZnO纳米线。X射线衍射分析的结果表明，ZnO纳米线具有明显的沿(0001)方向定向生长的特征。扫描电子显微镜分析表明，ZnO纳米线的典型直径约为100nm，长度为2～5μm。讨论了Au催化辅助化学气相沉积生长技术制备ZnO纳米线的原理。