采用直流反应磁控溅射的方法，溅射高纯钛靶在ITO石英衬底上制备了TiO2薄膜。用Raman光谱、AFM和紫外-可见光分光光度计分别测试了TiO2薄膜的结构、表面形貌和紫外一可见光吸收谱，研究了工艺因素中溅射气压、氧氩比和退火温度对薄膜结构的影响。采用C(胶)／TiO2／ITO三层结构研究了锐钛矿TiO2薄膜的紫外光响应。实验结果表明：较低的溅射气压、合适的氧氩比和较高的退火温度有利于锐钛矿TiO2薄膜的结晶。在2V的偏压下，锐钛矿TiO2薄膜的紫外光响应上升弛豫时间约为3S，稳定光电流可达到2．1mA，对紫外光的灵敏性和稳定的光响应表明TiO2薄膜有可能成为一种新的紫外光探测器材料。