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国内首台12英寸原子层沉积设备进驻上海集成电路研发中心

来源:电子之家 作者:华仔 浏览:771

标签:

摘要:2017年12月5日,由北方华创(002371)下属子公司北方华创微电子传来喜讯,其自主研发的国内首台12英寸原子层沉积(AtomicLayerDeposition,ALD)设备进驻上海集成电路研发中

2017年12月5日,由北方华创(002371)下属子公司北方华创微电子传来喜讯,其自主研发的国内首台12英寸原子层沉积(AtomicLayerDeposition,ALD)设备进驻上海集成电路研发中心。北方华创微电子为国产高端装备在先进集成电路芯片生产线的应用再添新秀。


ALD设备是先进集成电路制造工艺中必不可少的薄膜沉积设备,ALD工艺具有工艺温度低、薄膜厚度控制精确及台阶覆盖率高等优点。在集成电路特征线宽发展到28纳米节点后,ALD工艺应用日益广泛。北方华创微电子自2014年开始布局ALD设备的开发计划,历时四年,成功推出中国首台应用于集成电路领域的量产型单片ALD设备——PolarisA630,应用于沉积集成电路器件中的高介电常数和金属栅极薄膜材料,设备的核心技术指标达到国际先进水平。


此次,北方华创微电子PolarisA630ALD设备以参与公开竞标方式,成功进驻上海集成电路研发中心有限公司,同时中标的产品还有北方华创微电子集成电路AlPad工艺的eVictorA1030物理气相沉积系统。至此,北方华创微电子已有硅刻蚀机、单片退火设备、HardmaskPVD、AlPadPVD、单片清洗机、立式炉、ALD等集成电路设备应用于28-14纳米工艺制程,扩展了国产高端装备在集成电路先进制程的配套应用范围。


北方华创由七星电子整合北方微电子资产后设立,是国内产品体系最丰富、综合实力最强的半导体设备供应商,主要产品有等离子刻蚀设备、PVD、CVD、氧化扩散装备及清洗装备等,其中公司刻蚀机、PVD、立式氧化炉、清洗机等核心集成电路制造设备处于28nm技术阶段,16/14nm FinFET设备处于客户验证阶段。当前,公司主营业务领域包括半导体设备、真空设备、新能源锂电设备和电子元器件。 2017Q3,公司实现营业收入5.04亿元,同比增长50.04%;归母净利润2747.48万元,同比增长24.19%,毛利率达到44.73%。整体来看,公司三季度在经营层面保持良好态势。仅由于政府补助减少的影响,使得净利增速低于营收。 公司众多下游客户(如晶圆制造企业、封测企业、光伏企业等)正处于积极扩产期,设备需求旺盛,公司订单饱满。2017Q3期末公司预收款项、存货分别比年初增加152.62%、60.93%,反映公司订单增加,备货上升。


受益于大陆晶圆厂建设潮,半导体设备业务迎来增长契机。2018年将是大陆晶圆厂建设最集中的一年(根据SEMI预测,共有13座晶圆厂在大陆建成投产),我们预计设备采购需求将在2017H2-2018H1达到高峰。公司作为国内半导体设备龙头,将受益于下游旺盛的设备需求和国产化率的逐步提升,开启新一轮高速成长。 同时,公司在半导体设备领域积极寻求外延并购机会(拟以1500万美元收购清洗机设备厂商Akrion),与公司形成协同效应,做大做强。


多元业务驱动公司未来增长。除核心业务半导体设备外,公司其他业务也充满亮点。(1)真空设备:受益于下游重点客户光伏巨头基隆股份的批量上线计划,2017年至今,公司单晶炉设备的订单超过10亿元;(2)锂电设备:新能源汽车爆发带来动力电池需求的强劲上涨,公司 在锂电设备领域技术积淀深厚,有望充分受益于动力电池产能扩张带来的锂电设备需求扩张;(3)电子元器件:公司拥有60多年的高精密电子元器件生产的技术和经验,广泛应用于航空航天等特种行业,2017H1增速超过50%,毛利率超过40%,有望持续贡献高质量营收。


募投项目进展顺利,打开未来成长空间。截至2017Q2,公司募投项目“微电子装备扩产项目”完成比例29.61%。10月,公司又在此基础上新增相关建设和改造项目。所有项目达产后预计总共将为公司每年新增利润2.2亿元,并将生产效率提升20%,降低运营成本20%。募投项目将为公司打开新的成长空间,优化盈利水平。


盈利预测和投资评级:当前股价波动主要是受半导体行业整体市场情绪影响,公司基本面指标稳健,未来成长可期。首次覆盖,给予“增持”评级,预计2017-2019年的EPS分别为0.29,0.60,0.86,目标价45元。


型号 厂商 价格
EPCOS 爱普科斯 /
STM32F103RCT6 ST ¥461.23
STM32F103C8T6 ST ¥84
STM32F103VET6 ST ¥426.57
STM32F103RET6 ST ¥780.82
STM8S003F3P6 ST ¥10.62
STM32F103VCT6 ST ¥275.84
STM32F103CBT6 ST ¥130.66
STM32F030C8T6 ST ¥18.11
N76E003AT20 NUVOTON ¥9.67
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