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摘要:基于三星10nm制程工艺的骁龙835早已随着三星S8、小米6等一众手机面世,而基于台积电10nm制程工艺的联发科Helio X30也和魅族Pro 7系列手机一起亮相了。除此之外麒麟970及A11处理器
基于三星10nm制程工艺的骁龙835早已随着三星S8、小米6等一众手机面世,而基于台积电10nm制程工艺的联发科Helio X30也和魅族Pro 7系列手机一起亮相了。除此之外麒麟970及A11处理器将于今秋和消费者见面,各家产品虽有强有弱但的10nm时代已经展开,下一步就是向7nm推进,工艺推动者无疑就是三星和台积电这两家已较劲了几代制程的业者了。
对于7nm制程工艺,三星和台积电两大晶圆代工领域巨头都早已入手布局以便争抢业者们的订单。其中三星原定于明年破土动工的韩国华城18号生产线动工时间已被提前到了今年11月,以便在2019年能够进入7nm制程量产阶段。值得注意的是三星华城18号生产线将会架设10多台极紫外光(EUV)设备。而根据早前的报道,目前台积电在7nm上已有12个产品设计定案,第一代7nm将在2018年实现量产(一说为年前实现量产),第二代7nm则会在2019年实现量产,并导入极紫外光技术。
不论是三星还是台积电在7nm上都将引入EUV设备,而这种被视为延续摩尔定律的设备的研发正是因为制程工艺进入10nm后难度骤增,193nm光刻技术不足以应付7nm、5nm的需要,所以寄希望于研发EUV光刻工艺来推动制程进步。

7nm制程的进度在一定程度上也是被EUV设备所控制的,而EUV设备却是被荷兰半导体设备厂商ASML所控制的。据悉ASML是一家从事半导体设备设计、制造及销售的企业,于1984年从飞利浦独立出来,在去年先后宣布收购汉微科及蔡司半导体24.9%股份。这家垄断了高端光刻机市场的厂商股东中有三家就是我们耳熟能详的英特尔、台积电和三星。而据其公布的2017第二季财报显示,公司该季营收净额为21亿欧元,毛利率为45%。
EUV光刻机研发难度非常大因此单台价格高昂至少要1亿多欧元,但这种价值连城的设备还不是有钱就能买到的,如受限于《瓦森纳协定》,大陆的厂商就买不到最高端的光刻机设备。此外,由于EUV光刻机生产难度和成本都非常大,导致称霸了该领域的ASML年产量也只有12台。不过有报道称,ASML正在提升生产效率,或能在2018年将产能增加到24台,2019年达到40台。
对于大力投入发展的大陆,ASML虽然不能出售最高端的设备,但是也有其他的合作方式。3月份时,与上海微电子装备(集团)股份有限公司签署了战略合作备忘录;6月份时,宣布与上海集成电路研究开发中心合作,将共同建立一个培训中心。而国内对于高端光刻机设备的研究也十分重视,由长春光机所牵头承担的国家科技重大专项02专项——“极紫外光刻关键技术研究”项目已于今年6月在评审专家组的一致同意下通过了项目验收,这是我国极紫外光刻核心光学技术水平提升的重要一步。
Additive Technologies,LLC.也被称为AddiTec,于2015年由德国Bremen分公司在拉斯维加斯创建。该公司以其专有的直接沉积技术设计和建造先进的增材制造系统,并满足航空、核能、能源、医疗、汽车和高性能运动等众多行业的需求。现在,AddiTec已经发布了其直接沉积设备的更新版本,并已经销售了10套系统。

AddiTec的TriAxial直接沉积设备(TriAx 3D)是一款用于3D打印机、激光熔覆机和数控系统的激光辅助多光束金属沉积系统。它旨在降低成本,同时提高性能,与其他激光辅助金属沉积系统不同之处在于其能够通过相同的喷嘴处理粉末和线材料。它的工作原理是材料通过沉积头的中心轴进给,多个离轴激光器的角度与材料进给和工件精确对焦的距离一致。多个二极管激光器提供高效的激光功率,而线材和粉末材料输送占据独立通道,这允许在粉末和线材同时沉积的过程中进行切换和双模式沉积。
TriAx 3D系统结构紧凑,高约30厘米,宽15厘米,这意味着它可以改装到现有的机器人、龙门和数控系统。该系统由沉积头和紧凑型电源模块组成,该电源模块内置二极管激光器、相关电源、工艺冷却器、人机界面、软件、在线工艺控制、单一粉末进料器和单线进料器。选项包括额外的粉末和送丝机、机载硝基发生器,以及从0.8千瓦到4千瓦的总激光功率输出选项。
AddiTec销售由TriAx 3D模块驱动的多台金属3D打印机和数控机床,并销售高规格的3轴和5轴数控机床。客户可以选择他们喜欢的任何数控机床,而AddiTec将把TriAx 3D技术与其相结合。该公司还提供采用该技术的多种金属增材制造系统,并具有高生产量、5轴运动、低气体消耗和高材料利用率。还提供将CNC加工和3D打印结合到一个系统中的混合机器。

根据AddiTec的说法,其推出的最大系统是TriAx Delta 3H,具有高性能、高可靠性和可重复性等特点。它的测试时间超过4,000小时,具有1.5米x 3米的构造范围和可选的混合模式,利用直线式铣头进行自动零件精加工。
除开发和销售的系统和产品外,AddiTec还提供多种服务,包括逆向工程和无损检测。不过,它真正的卖点是它的新颖技术。基于粉末和线材的3D打印技术一直被视为两种非常独立的技术,通过将它们集中在一起,AddiTec为制造商节省了生产成本,同时为他们提供了更广泛的制造选择。
据悉,TriAx 3D系统可以以99,995美元的起始价格购买。
| 型号 | 厂商 | 价格 |
|---|---|---|
| EPCOS | 爱普科斯 | / |
| STM32F103RCT6 | ST | ¥461.23 |
| STM32F103C8T6 | ST | ¥84 |
| STM32F103VET6 | ST | ¥426.57 |
| STM32F103RET6 | ST | ¥780.82 |
| STM8S003F3P6 | ST | ¥10.62 |
| STM32F103VCT6 | ST | ¥275.84 |
| STM32F103CBT6 | ST | ¥130.66 |
| STM32F030C8T6 | ST | ¥18.11 |
| N76E003AT20 | NUVOTON | ¥9.67 |