由中芯国际集成电路制造有限公司承担的国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”(02专项)“65/45/32纳米工艺”项目,在科技部、北京市和上海市的支持下,成功研发出65纳米产品工艺,各项技术指标均达到国际主流技术水平,现已进入批量生产阶段。

中芯国际集成电路制造(北京)有限公司技术开发中心负责人宁先捷介绍,65纳米产品工艺是目前全球集成电路产业中大规模量产的主流生产工艺技术,随着我国电(600795,股吧)子信息产业的发展,国内移动通讯、数字电视、多媒体、三网融合、数控机床、汽车电子等高端通用芯片对65纳米制造工艺提出了十分迫切的需求。华为、大唐、中兴……这些国内顶尖的通信企业如今都是中芯国际65纳米集成电路的客户。

在国家重大专项支持下,中芯国际北京公司集中上百名研发人员,投入10多亿元资金,通过3万次实验研究和工艺研发,独立自主地开发出拥有完全自主知识产权的65纳米生产制造成套工艺流程,申请发明专利800多项。已有国际国内主流设计公司的8种低功耗产品用中芯国际65纳米工艺流片成功,并有部分产品进入规模生产。

刚刚投入量产的65纳米集成电路产品已经为中芯国际赚到了第一桶金——他们已生产1000片,销售额2亿元。“预计到年底,65纳米产品的生产订单可达6000片/月。”宁先捷对65纳米产品的市场前景成竹在胸,在他看来,这一工艺的研发成功,可以为我国高端通用芯片产品的自主开发提供生产制造服务,使主要依赖进口芯片的企业大幅降低成本,缩短研发周期。“65纳米产品工艺投产以前,中关村(000931,股吧)的企业常到我们公司’诉苦’,今后,我们的技术人员就会常去中关村了解需求了。”他形象地说,65纳米产品量产的一个重要条件就是根据不同客户的需求,研发出不同的配套方案,帮助客户在其产品上实现“即插即用”,用行业内的术语讲就是“芯片IP库建设与国内设计公司的产品开发直接对接”。

目前,中芯国际正在加紧进行45纳米成套工艺的引进消化吸收和再创新,计划于明年年初完成45-40纳米的成套生产工艺研发。届时,中芯国际将具备90纳米、65纳米至45纳米完整的高端产品成套制造工艺技术平台。“集成电路业界有个著名的摩尔定律,就是芯片上所集成的电路的数目,每隔18个月就翻一番,同时芯片价格下降一半。因此我们必须跟上技术进步的步伐。”宁先捷坚定地说。