据估计2000年四季度芯片制造设备销售增长从2000年前期破纪录的76.1%的降为31.8%。一些分析家预计半导体设备销售增长2001年会大大放慢，包括前端晶圆处理工具和后端芯片封装系统在内，增长只有大约10%左右。但Information Network却坚持其在去年11月做出的芯片制造工具营收2001年会增长45.9%的预测，即从2000年的447亿美元增长为2001年的652亿美元。更细线宽工艺的加速发展是今年芯片制造设备增长的主要动力，修订过的2000年ITRS半导体发展展望认为，0.13um IC生产将从2001年开始，而不是原来所认为的2002年，因此肯定会大大促进高级生产工具的购买。