据reed-electronics网站报道，Aviza Technology, Inc.作为全球先进的半导体设备和制程技术供应商近期宣布，已经开始向台湾Inotera Memories,Inc.交付新一代单圆片原子层沉积(ALD)系统——Celsior(TM)。Celsior系统首先将在Inotera公司Fab I中用于90nm和75nm工艺的DRAM芯片的生产。

VLSI Research预测，由于半导体行业的增长，从2006年到2011年，ALD的复合年增长率将达到22.8%。Celsior与该公司的可变批量ALD设备Verano(TM) 5500是互补的，Aviza定位于向客户提供可变批量ALD技术和特殊制程解决方案。

Inotera Memories, Inc.成立于2003年1月23日，是Infineon与Nanya的合资公司，主要生产高密度、高性能的DRAM产品。

Aviza Technology, Inc.是全球半导体、化合物半导体、纳米技术及其他相关行业的设备和制程工艺供应商，该工体同时提供前端和后端制程设备，包括ALD、LPCVD、APCVD、CVD、蚀刻和PVD。Celsior和Verano 5500均为该公司商标。

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http://www、reed-electronics、com/semiconductor/articleXml/LN389487984、html