据Semiconductor Reporter网站报道，Aviza Technology Inc.与BOC Edwards近期联合宣布，两家公司已经达成协议，将联合开发原子层淀积(ALD)系统。合作将基于BOC Edwards在化学方面的经验和Aviza在ALD硬件技术方面的优势，针对高k和金属材料淀积方法进行优化，目标提高设备效率、产能并降低成本。

我们非常高兴可以有机会同ALD市场的引领者Aviza合作，进行应用于下一代制程中的ALD解决方案的开发，BOC Edwards电子材料技术主管Atul Athalye表示，我们的客户将从中受益，目标实现制程技术的优化，从而实现成本控制并提高成品率。

与BOC Edwards的合作将有利于先进ALD薄膜的研发，以提供多IC应用的多种薄膜制作，Aviza先进应用副总裁Helmuth Treichel表示，相信BOC Edwards先进的Flex-ALD和我们独特的ALD硬件技术，将为全球IC市场带来先进制造整合的能力。

Aviza公司同时提供Celsior型单圆片ALD系统和Verano 5500型批量ALD系统。

相关链接（英文）：
http://www、semireporter、com/public/15011、cfm