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Aviza和Mosel达成合作协议 共同研发用于闪存的ALD材料

来源:SEMI中国 作者:—— 浏览:404

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摘要:据EE Times网站报道,芯片设备制造商Aviza Technology Inc.日前和台湾芯片制造商Mosel Vitelic Corp.合作开展了一个研发项目。该项目将开发先进的原子层淀积(ALD)材料,用于下一代闪存芯片中。 根据合作协议,Aviza将提供ALD相关的专业技术,而Mosel将完成器件设计和工艺集成等任务。此次合作是在Semicon Taiwan展会上宣布的。 据悉,该项目将

据EE Times网站报道,芯片设备制造商Aviza Technology Inc.日前和台湾芯片制造商Mosel Vitelic Corp.合作开展了一个研发项目。该项目将开发先进的原子层淀积(ALD)材料,用于下一代闪存芯片中。

根据合作协议,Aviza将提供ALD相关的专业技术,而Mosel将完成器件设计和工艺集成等任务。此次合作是在Semicon Taiwan展会上宣布的。

据悉,该项目将使用Aviza的Celsior fxP单晶圆ALD系统来开发所需要的薄膜,而Mosel将关注于先进闪存器件的设计与制造。

Aviza总裁May Su在一份声明中说道:“Aviza当前的目标是为闪存和逻辑芯片开发特殊的ALD技术方案,此次合作正是为了实现这一目标。”

相关链接(英文):
http://www。eetimes。com/news/semi/rss/showArticle。jhtml?articleID=201805477&cid=RSSfeed_eetimes_semiRSS

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