据EE Times网站报道，芬兰Beneq Oy.日前收购美国Planar Systems Inc.在芬兰的原子层淀积（ALD）设备和涂胶服务业务，收购的价格未予公布。

Planar至今已设计制造了50余款ALD设备，主要用于研发和平板显示的制造。与此同时，Planar还提供面向薄膜应用的ALD设备和服务。

作为协议的一部分，Planar向Beneq许可了ALD相关的专利使用权。Beneq表示，双方融合后，向客户提供的ALD设备和涂胶服务将整合更强大的产能和资源。

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