半导体国际的编辑经过仔细评选, 得出15种产品, 材料或服务为今年的最佳产品, 这是它们第21年的成果。

今年获最佳产品奖的产品如下;

• 上海AMEC的300mm Primo RIE干法刻蚀机
• 应用材料的SEMVision G4缺陷检查扫描电镜
• ASM新加坡的IIDEAL压缩型封装设备
• ATMI的离子注入自动清洗机
• ATMI的安全供气钢瓶
• Cabat Microelectronics的Epic D100 CMP的衬垫
• Carl Zeiss的SMT 超级SEM扫描电子显微镜
• CISemi的WetSpec 200湿法工作台
• Environmental Metrology的电化学痕量传感器
• Linde Group的F80现场氟发生器
• Nikon的NSR S610浸液式光刻机
• Nova Measuring Instrument公司的NovaMARS软件
• Qcept Technologies的Chemetri Q 3000非直视检查系统
• Tec Sem Group的Pr@ctor 300mm 单片管理系统
• W。L。Gore& Associates Gore 超纯水过沪器
  ?