ASML在09年Q4实现销售5.81亿欧元，比Q3的5.55亿欧元上升，也比去年同期的4.94亿欧元增长。

然而2009全年实现销售额达15.96亿欧元，比08年的29.54亿欧元下降达46%。

2009 Q4实现净利润5000万欧元，为销售额的8.7%，而其Q3的净利润为2000万欧元，或者销售额的3.6%。而08年Q4为亏损8800万欧元，或者销售额的17.8%。

总计ASML于2009年净亏耗为1.51亿欧元,或者销售额的9.5%，而2008年实现利润3.22亿欧元,或者销售额的10.9%。

2009年Q4的订单已达9.56亿欧元，共计40台设备，其中35台新及5台翻新。截止2009年12月31日公司尚有订单18.53亿欧元未发货。

尽管2009年已经结束，但是随着全球半导体业开始复苏，首先是存储器市场的技术推动，接着有代工的产能扩充，因此推动了公司的订单显著上升。

在下一代光刻EUV进程中，由于系统光源等改进，预计第一台试生产样机可于今年下半年发货。
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