摘要：0.15Ga0.85N/GaN MQW 450nm图1：（a）放大n极LED的剖视图和电路原理图；俯视图（b）传统的（LED-C），没有n极的梳状LED-F3以及LED-F5，（c）等离子处理得到的梳状（LED-F3-P 和 LED-F5-P）。（c）中的阴影区域即等离子处理区域。-3Ohm-cm222图2：LED-C以及LED-F3-P的（a）正向和（b）反向ESD特征。