摘要：　　FA／O螯合剂是一种具有13个螯合环的新型螯合剂。不含钠离子。并且易溶于水。稳定性好。通过对FA／O螯合剂在RCA标准清洗SC1、SC2溶液中的应用。对XPS的测试结果分析表明。FA／O螯合剂对Fe和Cu的络合能力比NH4OH的络合能力强，RCA标准清洗液中加入少量FA／O螯合剂就可使硅片表面微量铜、铁等金属污染物的去除效果显著增加。对清洗工艺的研究表明。在有螯合剂存在下，清洗温度控制在70℃。清洗时间为5min?2次。效果更好。