摘要： Helmel公司(HelmelEngineeringProductsInc)的Microgage是一种小尺寸的桌面型三维DCC坐标测量机，其3-D测量精度优于5µm，重复精度达0.7µm，刻度尺分辨率为0.1µm。仪器采用固定桥式结构，移动工作台可沿Y轴运动，测量范围(X，Y，Z)为(225×150×125)mm；X和Y轴采用精密直线轴承导轨，Z轴则采用滚动轴承导轨。由于未采用误差映射和三维误差补偿，因此测量精度取决于仪器本身的精度。