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ASMInternationalN.V.宣布一家台湾晶圆厂为其28奈米节点high-k闸极介电层量产制程选择ASM的Pulsar原子层沉积技术(ALD)工具。
关键词:
113108-10
电子束炉变压器的故障检查研究引言EBCHR2/50/500电子束炉是西北有色金属研究院从德国ALD公司进口的大型设备,适用于熔炼和重熔钨、钼、钽、铌、锆、铪等难熔金属及其合金,它具有两个完全独立的电子枪
关键词:
76708-10
Aalto大学研究人员通过采用原子层沉积(ALD)法制取纳米粒子催化剂,使得燃料电池的阳极催化剂覆盖层可比以前薄得多,催化剂需要量减少60%,能够显著降低成本,提高质量。
关键词:
26308-10