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FA／O螯合剂是一种具有13个螯合环的新型螯合剂。不含钠离子。并且易溶于水。稳定性好。通过对FA／O螯合剂在RCA标准清洗SC1、SC2溶液中的应用。对XPS的测试结果分析表明。FA／O螯合剂对Fe和Cu的络合能力比NH4OH的络合能力强，RCA标准清洗液中加入少量FA／O螯合剂就可使硅片表面微量铜、铁等金属污染物的去除效果显著增加。对清洗工艺的研究表明。
关键词：
172908-10
FA／O螯合剂是一种具有13个螯合环的新型螯合剂。不含钠离子。并且易溶于水。稳定性好。通过对FA／O螯合剂在RCA标准清洗SC1、SC2溶液中的应用。对XPS的测试结果分析表明。FA／O螯合剂对Fe和Cu的络合能力比NH4OH的络合能力强，RCA标准清洗液中加入少量FA／O螯合剂就可使硅片表面微量铜、铁等金属污染物的去除效果显著增加。对清洗工艺的研究表明。
关键词：
136108-10
φ12mm、φ14mm、φ16 mm、φ18 mm、φ20 mm、φ22 mm、φ33mm等，其螺纹规格为：M10×1、M14×1．5、M18×1．5、l／2NPT、G1／2＂、ZGl／2＂、M20×1．5、M22
关键词：
38908-10
2位数值比较器有两个2位的输入端为A1A0和B1B0，有三个1位输出端FA>B，FA
关键词：
78209-30
